[판교테크노밸리]나노팹! 나노기술 산업화의 든든한 조력자- 6개 나노팹 기업지원 성과 발표회 개최

나노팹! 나노기술 산업화의 든든한 조력자- 6개 나노팹 기업지원 성과 발표회 개최

 

작성일 : 2015. 10. 16. 융합기술과

 

나노팹! 나노기술 산업화의 든든한 조력자

- 나노팹 구축 10년, 기업 애로기술 해결의 산실로 자리매김

- 6개 나노팹 기업지원 성과 발표회 개최

 

□ 미래창조과학부(장관 최양희)는 「나노기술 산업화 전략」(‘15.4 발표) 일환으로서 나노팹의 기업지원 성과를 알리고, 기업지원 강화 방안을 모색하는 자리를 10월 15일(목), 수원 한국나노기술원에서 마련하였다.

ㅇ 각각의 특화분야를 가진 전국의 6개 팹은 나노분야의 연구성과 실용화 및 기업창업 지원, 연구개발 시설·장비공동활용, 전문인력 양성을 위해 ‘05년부터 ’08년까지 차례로 구축되었다.

 

□ 나노팹은 10년(‘05~’14)동안 총 340,829건(산업체 47%, 대학 38%, 연구소 15%)*의 연구개발 및 사업화 서비스를 제공하였으며, 연간 이용자는 5,000여명(6개 기관 각 개시연도 대비 5배이상 증가)에 달하여 나노기술 연구·개발 및 사업화에 핵심 기반시설로 자리 잡았다는 평가를 받고 있다.

* 산업체 158,839건, 대학 130,297건, 연구소 51,693건의 서비스 제공

※ 이용건 수 : 2,807건(‘05년) → 40,928건(’10년) → 50,261건(‘14년)

※ 이용자 수 : 513명(‘05년) → 4,554명(’10년) → 4,959명(‘14년)

ㅇ 특히, 2010년부터 올해 9월까지 성과를 보면, 상용화 지원이 533건, 기술이전이 57건(기술료 18억원)으로 급속히 늘었고, 기업체의 상용화 애로기술 타겟 지원도 연 22,000건(2,100명 이용)에 달해 기업체의 나노팹 활용이 급속히 확산되고 있음을 알 수 있다.(첨부1)

※ 상용화 지원 : 67건('10년) → 117건(‘14년)

※ 기술이전 : 3건('10년) → 11건(‘14년)

- 나노기술의 활용은 반도체, 디스플레이, 환경/에너지, 첨단소재, 바이오 등 다양한 산업분야에서 일어나며 기업들은 주로 단위/모듈공정, 소자제작, 측정·분석, 성능평가, 시제품제작, 소량생산 등을 위해 팹을 이용하는 것으로 나타났다.

ㅇ 이번 발표회에서 적외선 열영상 센서(㈜시리우스), MEMS 센서(㈜마이크로인피니티), 고집적 전력반도체(메이플세미컨덕터㈜) 상용화가 팹 활용의 대표적 성과사례로 소개되었으며(첨부2), 반도체, OLED 조명, 태양전지, 드론, 필름 등 나노팹을 활용하여 개발된 다양한 제품들이 전시(첨부3)되었다.

□ 앞으로 나노팹은「나노기술 산업화 전략」의 이행을 위해 기업수요를 반영한 특화공정* 개발 및 지원, 성능평가, 시제품제작, 패키징, 제품생산 등 기업지원을 강화하고, 기업이 필요한 서비스를 가장 가까운 팹에서 편리하게 찾아 이용할 수 있도록 6개 팹 통합 정보 서비스를 제공할 예정이다.

* 나노팹별 기 구축된 특화시설 활용 및 기업수요에 부합한 제품군 (웨어러블 스마트기기, 3D 나노전자소자, 나노바이오센서 등) 중심의 특화기술 개발 추진

ㅇ 또한, 나노기술 사업화에 필수적인 측정·분석 서비스 지원 강화를 위하여 국제공인 시험분석(KOLAS) 인증분야 확대 및 유관기관과의 협업을 통한 서비스 네트워크를 구축하여 기업의 시장 조기진입을 적극적으로 지원할 계획이다.

 

☞ 나노기술 사업화 지원 및 기업육성

○ (사업화 One-stop 지원) 아이디어 도출, 설계, 공정개발, 시제품 제작 및 소량생산까지 전주기 지원체계 구축

ex) 고객종합지원사업단 운영(‘15.02/한국나노기술원), 기업지원센터 신설(‘15.03/나노종합기술원)

○ (1인 창업 등 기업 육성) 나노기술 기반 중소·벤처기업의 성장을 위한 지원

- 1인 창업기업 및 입주기업의 우수 아이템 사업화를 위한 공동연구 강화

- 창조경제혁신센터 등 유관기관과의 연계를 통한 기업지원 강화

- 기업 입주공간 확보 및 기술컨설팅 등 지원사업 확대

 

□ 박재문 미래창조과학부 연구개발정책실장은 “지난 10여년간 나노팹은 나노기술 상용화를 위한 핵심적인 역할을 수행해 왔다”고 언급하며,

ㅇ “본 행사가 기업 수요를 파악하여 더욱더 효과적인 지원체계를 만들어가고자 하는 팹이 기업에 한걸음 더 가까이 가는 좋은 계기가 될 것으로 기대하며, 정부도 나노기술의 산업화 및 관련 기업 지원을 위해 적극 노력할 것”이라고 덧붙였다.

 

 

참고 1

 

나노팹 최근 성과 요약

 

 

□ 사업화 지원

○ 기술이전(‘10년~’15년 9월) : 총 57건, 기술(이전)료 1,801백만원

 

구분

2010

2011

2012

2013

2014

2015.9.

합계

기술이전(건)

3

6

13

10

11

14

57

기술(이전)료(백만원)

120

105

224

760

186

406

1,801

 

* Ex) 반도체 식각 장비(HF Dry Etcher) 개발(‘13년), 기여매출액 30억원(’14)/(주)테스

 

 

 

< CUBIC : HF Dry Etching System >

세계에서 2번째로 개발한 20nm급 미세 공정에서 건식식각으로 산화막을 제거할 수 있는 첨단 반도체 장비

< CUMAX : Hybrid Cleaning System >

세계 최초로 개발한 건식식각과 습식식각을 단일 System에서 진행할 수 있는 장비

 

 

○ 상용화 지원(‘10~’15년 9월) : 총 533건

 

구분

2010

2011

2012

2013

2014

2015.9.

합계

상용화지원(건)

67

84

84

106

117

75

533

 

* Ex) SOI RF CMOS 반도체 제조 관련 기술(‘13), 기술료 500백만원/매그나칩반도체

 

 

< 개발된 SOI RF 칩 웨이퍼 및 모듈 >

 

 

□ 특허(‘10년~’15년 9월) : 출원 및 등록 총 551건

구분

2010

2011

2012

2013

2014

2015.9.

합계

특허 출원 및 등록(건)

59

64

101

110

125

92

551

 

 

□ 나노팹 서비스 현황(‘14년)

(단위 : 시간, 건, 명, 개, 명)

 

구분

이용 시간

이용 건수*

이용자 수**

이용 기관수***

인력

양성 수

나노종합기술원

239,764

19,251

2,175

510

317

한국나노기술원

98,914

10,861

1,156

360

235

나노융합기술원

98,379

11,763

656

102

348

전북나노기술집적센터

15,802

4,236

183

75

359

광주나노기술집적센터

7,486

2,415

412

48

182

나노융합실용화센터

52,160

2,095

377

220

296

국가나노인프라협의체

-

-

-

-

80

계

512,505

50,621

4,959

1,315

1,817

 

* 이용 건수(‘14년) : 총 50,621건 중 산 22,292건, 학 19,382명, 연 8,947건

** 이용자 수(‘14년) : 총 4,959명 중 산 2,152명, 학 2,115명, 연 692명

*** 이용 기관수(‘14년) : 총 1,315개 중 산 957개, 학 250개, 연 108개 이용

 

 

참고 2

 

나노팹 기업지원 대표성과

 

 

? 모바일용 초 저가형 적외선 열 영상센서 기술이전

ㅇ (기업명) ㈜시리우스/나노종합기술원

ㅇ (내용) 세계 최초로 개발한 모바일용 비 냉각형 적외선 열영상센서 설계와 제작 공정기술 이전, 기술료 200백만원(선급), 매출액 2.0%(경상기술료)

ㅇ (기대효과) 고열의 전염성 질병에 대한 비접촉식 자가진단 기능을 활용한 각종 전염성 질환의 조기 차단 및 수입대체

 

 

 

< 시리우스와의 기술이전식 >

< 적외선 카메라 이미지 >

 

 

MEMS(미세전자제어기술) 관성센서 개발

ㅇ (업체명) ㈜마이크로인피니티/한국나노기술원

ㅇ (내용) 관성센서 개발을 위한 박막 전극 패터닝 기술 개발 및 이를 위한 정밀 패터닝 공정 구현

ㅇ (기대효과) 드론 등의 민수용 제품이나 미사일 등의 군수용 제품에 적용이 가능한 MEMS* 관성센서 국산화를 통한 가격 경쟁력확보

- 매출 기여도 5억원(관련 매출규모 77억원), 신규고용 1명(‘14년)

※ 관성센서 : 운동의 관성력을 검출하여 측정 대상인 움직이는 물체의 가속도, 속도, 방향, 거리 등 다양한 항법 관련 정보를 제공하는 부품

 

 

 

< 미세패터닝 및 도금 기술개발 >

< 적외선 카메라 이미지 >

 

 

나노크기 미세공정을 적용한 고집적 전력반도체 개발

ㅇ (업체명) 메이플세미컨덕터㈜/나노융합기술원

ㅇ (내용) 기존 제품에 비해 생산성 30% 향상, 웨이퍼 단위의 수율 98% 확보(외국 선진사 89%)

※ 기존 생산제품에 신기술 적용으로 생산성 향상 추진

* 연구개발 및 시제품 생산완료(‘17년 양산적용 예정)

ㅇ (기대효과) 전기제품의 핵심 부품으로 다양한 분야(가전·휴대용 기기, 전기자동차, 전동차 태양광 등)에 활용이 가능

 

 

< 전기를 사용하는 다양한 제품군 활용 가능 >

 

 

참고 3

 

나노팹 전시품

 

 

기관명

판넬 제목

전시물

전시물 사진

나노

종합

기술원

1. 해외 우수기관 공동연구 기반 구축

- (‘15년) 해외 우수기관 유치사업

- 기술이전 현황

 

2. 우수기술 공동 개발 및 사업화 지원(1)

- 초저가 모바일용 적외선 열영상센서 기술이전 및 공동개발

- 대량생산용 고효율 유연 열전소자 개발

 

3. 우수기술 공동 개발 및 사업화 지원(2)

- 세계 최초 건식/습식 Hybrid Cleaning System 개발

- 시제품 제작 및 소량생산 플랫폼 운영

휴대용 유전자 판독기

 

적외선 카메라

 

 

 

열전소자

 

한국

나노

기술원

1. 고성능 자세센서 기반 항공촬영용 짐벌 시스템 장비 개발

 

2. MEMS Inertial Sensor 미세 정밀 패터닝 개발

 

3. 집광형 태양광 발전시스템 기술 개발

집광형

태양전지 모듈

 

드론

 

나노

융합

기술원

1. 나노소재기술기반 고기능성 Metal Look Digital Printing 기술상용화 지원 및 벤처·중소기업 산업화 육성/지원

 

2. 반도체용 건식 식각 장비 공정 개발용 분석 지원

 

3. 첨단 전력반도체 기술사업화 지원

전력

반도체 모듈

(웨이퍼)

 

전북

나노

기술

집적

센터

1. 나노유연투명전극 필름 개발

2. 기업유치 및 창업보육, 전문인력 양성

투명전극필름

 

Printed Organic TFT Backplane

 

광주

나노

기술

집적

센터

1. 인프라 활용 기업지원 성과

- 인광블루 소재 테스트를 위한 OLED 면광원 시제품 제작 지원

- OLED 소자 박막 봉지 장비 검증을 위한 시제품 제작 지원

 

2. 고분자 분산액정(PDLC) 스마트 윈도우용 나노전극 개발

OLED

조명 시제품

 

스마트 윈도우

 

(off) (on)

나노

융합

실용화센터

1. 중소기업 지원 성과 사례

- 10인치 이상 터치패널용 전도성 나노박막 필름 상용화 기술개발(맥스필름) 등 5건

 

2. 고객만족 기업지원시스템 구축

전도성

나노박막 필름