KRISS-HHT 전자현미경 국제 공동연구 시작- 표준연 전자현미경 최첨단 모노크로미터 기술 개발

KRISS-HHT 전자현미경 국제 공동연구 시작- 표준연 전자현미경 최첨단 모노크로미터 기술 개발

 

2016-11-21관리자

 

 

KRISS-HHT 전자현미경 국제 공동연구 시작
- 표준연 전자현미경 최첨단 모노크로미터 기술 개발 -
- 낮은 에너지 영역에서의 주사전자현미경 분해능 향상 기대 -

한국표준과학연구원(KRISS, 원장 직무대행 박상열)과 일본 기업 히타치하이테크놀로지즈(HHT, 사장 미야자키 마사히로)가 상호협력을 통한 ‘차세대 전자현미경’ 국제 공동연구 착수에 합의하였다. 

이와 관련하여 21일(월) 오후, HHT 과학시스템제품본부 이토 스케히로 본부장 등 4명이 한국을 방문하여 업무협약식(MOU)을 KRISS 행정동에서 갖는다.   

 ◦ HHT는 주사전자현미경 세계 매출 1위 기업으로, 1972년 ‘전계방출현미경의 실용화’가 미국전기전자학회(IEEE)의 이정표로 인정되는 등 뛰어난 기술력을 보유하고 있다.

KRISS 첨단측정장비센터 오가와 타카시 연구팀은 HTT의 지원으로 전자현미경에 장착하여 사용할 수 있는 ‘전자빔 모노크로미터*’의 기초연구를 2015년부터 추진해왔으며, 그 기술력을 인정받아 해당 장비를 HTT의 주사전자현미경에 장착하는 본격적인 공동연구를 실시한다.

    * 전자빔 모노크로미터 : 레이저와 같이 전자빔을 단색으로 만드는 기술로서 나노 물질 관찰과 분석 및 반도체 검사 등에 사용된다.

주사전자현미경은 전자현미경 안에서 전자빔을 관찰 대상에 쏘아 확대된 영상을 표시·기록 후 물질 형태나 구성 원소, 정량 등을 분석하는 장비다. 주로 생물학이나 반도체, 재료과학 분야에서 물체의 미세구조를 관찰하거나 정밀 측정할 때 사용된다.

 ◦ 전자현미경은 시료의 표면을 관찰하는 주사전자현미경(SEM)과 시료의 내부를 보는 투과전자현미경(TEM)으로 크게 나뉜다. 세계 전자현미경 시장은 대략 주사전자현미경이 63%, 투과전자현미경이 35%를 차지하고 있다.

주사전자현미경은 낮은 에너지 조건에서 사용하면 시료의 대전에 의한 상(像)을 관찰할 때 장애가 완화되어 반도체 디스플레이 표면의 절연물질을 분석하는데 용이하다. 하지만 낮은 에너지에서는 전자빔의 빔 직경이 증가하고 상의 해상도가 저하 되는 문제가 있었다.

하지만 이번에 개발된 모노크로미터로 전자빔을 필터링해서 단색 전자빔을 만들면 전자빔의 빔 직경이 줄어서 분해능이 높아지기 때문에 반도체의 서브나노 스케일 관찰 및 선폭 측정이 가능해진다.

첨단측정장비센터 조복래 센터장은 “표준연과 HHT의 공동연구를 통해 낮은 에너지 영역에서의 주사전자현미경 공간 분해능 향상이 기대된다. 이를 통해 신재료 및 반도체 장치의 연구개발, 새로운 생명 현상의 해명 등 다양한 분야에서의 ‘정확한 눈’ 역할을 할 수 있을 것.”이라고 말했다.

HHT 이토 스케히로 본부장은 “KRISS가 가진 모노크로미터 기술을 HHT의 주사전자현미경과 결합하면 전자현미경의 기본 성능이 더욱 향상할 것으로 기대한다.”고 말했다. 

붙임1
참고 자료 : 연구 관련 사진 및 설명

▲ KRISS 첨단측정장비센터 연구팀이 전자빔 모노크로미터에 대한 연구를 하고 있다

▲ KRISS 첨단측정장비센터 연구팀이 전자빔 모노크로미터에 대한 연구를 하고 있다

붙임2
표준연-히타치하이테크놀로지즈 MOU 일정

□ 개요
  목적: 전자현미경용 모노크로에이터 공동연구 개발 협력
  일시: 2016. 11. 21.(월)
  장소: 행정동 및 연구동
  방문자: HITACHI 임원 등(총 4명)
 
성명
직책
소속
Mr. Sukehiro Ito
General Manager,
Science Systems Designs Division
HITACHI　
High-Technologies
corporation
Dr. Anto Yasaka
General Manager,
Electron Microscope Systems Design
1st Department
Mr. Toshihide Agemura
Manager, FE-SEM R&D Group
Mr. Shigehiko Kato
Engineer, QMS Promotion Center

□ 세부내용
  주요 안건
   - 상호 공동연구 활성화 및 기술이전 논의
  상세 일정(안)
 
시간
프로그램
비고
14:00-16:00
•김포공항 → 연구원
사업관리팀
김장현 지원
16:00-16:20
•티타임
101동 4층 접견실
16:20-16:50
•참석자 소개
•협약행사
•기념사진 촬영
101동 2층
대회의실
16:50-17:55
•연구현장 방문
 - 16:55-17:15 첨단측정장비센터
 - 17:20-17:35 의료융합측정표준센터
 - 17:40-17:55 생체신호센터
차량 이동
301동 B04호
302동 B06-2호
201동 B10-2호
18:30-20:00
•만찬
외부 한식당