반도체 초순수 국산화 협의체 본격 가동
부서명 물산업협력과등록일자 2021-08-25
반도체 초순수 국산화 협의체 본격 가동
◇ 정부, 연구개발 주관기관, 관련 업계, 기술수요처, 전문가 등이 모여 반도체 초순수 기술개발 및 관련 산업 발전방안 모색
◇ 관련 연구개발 착수 계기로 기술·제품 국산화 및 관련산업 활성화 위해 산·학·연·관이 지속적으로 협력할 계획
□ 환경부(장관 한정애)는 한국환경산업기술원, (사)한국물포럼과 함께 8월 26일 오후 한국수자원공사 한강유역본부(과천시 갈현동 소재)에서 반도체 초순수 국산화를 위한 협의체 첫 회의를 개최한다.
○ 이번 회의에는 이영기 환경부 물관리정책실장, 곽결호 (사)한국물포럼 총재, 정경윤 한국수자원공사 기획이사, 김경호 한국환경산업 기술원 본부장을 비롯해 정부, 공공기관, 학계 및 산업계 관계자 등이 참석할 예정이다.
※ 코로나19 방역지침에 따라 참석인원 제한
□ 환경부는 지난 7월 29일 열린 ‘제13차 혁신성장 빅(BIG)3* 추진회의’의 중점 추진과제 중 하나인 ‘반도체 초순수 생산 국산화 기술개발(2021년~2025년)’과 관련하여 추진 과정의 협력과 활성화 방안 등을 논의하기 위해 이번 회의를 마련했다.
* 반도체, 미래차(무공해차), 바이오 헬스 등 혁신성장이 예상되는 3대 산업을 일컫는 말로 정부는 올해 4조 2,000억 원에서 내년도 5조 원 이상을 지원할 예정
○ ‘반도체 초순수 생산공정 국산화 기술개발’은 일본 정부의 반도체 분야 수출규제 대응을 위해 환경부에서 지원하는 상용화 연구개발로 5개 과제에 총 480억 원을 투입*하여, 초순수 생산공정 국산화를 통해 해외 기술 의존을 벗어나고 국내 산업을 활성화하기 위해 추진되는 사업이다.
* 핵심기자재 개발(유기물 자외선 산화장치, 용존산소 제거 탈기막) 56억원, 2,400톤/일 규모 실증플랜트 구축 337억원, 초순수 인증평가 및 검증체계 마련 25억원, 반도체 폐수 재이용률 향상 46억원
○ 초순수 시장(설계, 시공, 운영 등 모두 포함)은 2018년 기준 국내 시장은 약 1조 원, 세계시장은 19.3조 원이며, 2024년에는 각각 1.4조 원, 23.1조 원 규모까지 성장할 것으로 예상*된다.
* 영국의 물 전문 조사기관인 글로벌워터인텔리전스(GWI)에서 추정
○ 국산화 기술개발과 실증화가 완료되면 국내시장은 물론, 관련 물산업의 해외시장 진출까지 확대될 것으로 기대된다.
<국내 초순수 시장 현황>
(설계분야) 일본기업(쿠리타, 노무라)이 국내 시장의 100% 점유
(소재·부품·장비) 일본이 우위(세계 특허 56% 출원), 미국·유럽 등이 추격 중
* 부분적으로 국산화된 제품이 있으나 실제 사용은 저조
(시공·운영) 다국적 기업(베올리아, 쿠리타) 대다수, 국내기업 일부 참여
□ 이번 회의는 한국환경산업기술원, 기술수요처, 한국수자원공사의 산업계 기술개발지원, 실증설비(플랜트) 구축 방안, 국산화 및 활성화 방안 소개와 산·학·연·관 등 관계자들의 심층토론이 진행된다.
○ 연구개발사업을 관리하는 한국환경산업기술원은 2019년 9월 이후 일본의 반도체 분야 수출규제에 대응하기 위해 초순수 생산공정 국산화 기술개발사업 이행안(로드맵)과 과제별 지원계획을 제시한다.
○ 최근 실증설비(플랜트) 부지 제공이 결정된 ‘ㄱ업체*‘는 기술 수요처로서 실증설비 구축을 위해 부지 및 건축물 제공사항과 기술 국산화 이후 실제 플랜트에 적용할 계획을 비롯해 정부 및 관계기관에 대한 협조 요청사항을 전달할 예정이다.
* 동 사업 추진사항 등 관련 내용이 영업상 비밀에 해당하여 업체 요청에 따라 비공개
○ 연구개발 수행을 총괄하는 한국수자원공사는 초순수 제품 국산화 외에도 설계, 시공 및 운영이 통합된 국산화 기술개발의 필요성과 기술수요처 협업을 통한 초순수 산업 활성화에 대해 발표한다.
○ 아울러, 산업계를 대표하여 씨제이케이얼라이언스(주)(순수처리용 설비 제작업체)는 국내 제품 개발 이후 사업화가 어려운 현 상황에 대해 진단하고, 성능검증 체계 마련 등 국산화 및 사업화를 위한 향후 과제에 대해 제언한다.
□ 송용권 환경부 물산업협력과장은 “반도체 초순수 기술개발을 통해 해외 기술·제품에 대한 의존을 벗어남과 동시에 관련 물산업 해외시장 진출의 교두보를 마련할 계획”이라면서,
○ “반도체 초순수 생산기술 국산화 및 상용화의 성공을 위해 연구개발 수행기관, 관련 산업계 등과 지속적으로 긴밀한 협의를 이어 나가겠다”라고 밝혔다.
붙임 1. 고순도 공업용수 생산공정 국산화 기술개발사업.
2. 고순도 공업용수 생산기술 상용화 방안. 끝.
붙임1 고순도 공업용수 생산공정 국산화 기술개발 사업
□ 사업개요
○ (목 적) 반도체급 고순도 공업용수 생산기술 국산화와 반도체 산업폐수 재이용 향상 기술개발을 통한 국가 물산업 경쟁력 확보
○ (기간/예산) 총 480억원(국고 300억원) / ’21 ~ ’25
□ 기술개발 세부내용
○ (과제 구성) 실증플랜트 국산화 3개 과제, 성능검증 1개 과제, 폐수 재이용율 향상 1개 과제 등 총 5개 세부과제로 구성
과제 세부과제명 기술개발 주요내용 비 고
1과제 고순도 공업용수용 자외선 산화장치 개발 (기관) ㈜에코셋 고순도
(예산/기간) 32억원(국고 20억원), `21∼`24 공업용수
- (주요 연구내용) 자외선 산화장치 개발 실증플랜트 구축
2과제 용존산소 제거용 탈기막 국산화 기술개발 (기관) ㈜세프라텍
(예산/기간) 24억원(국고 15억원), `21∼`24
- (주요 연구내용) 용존산소 제거 탈기막 개발
3과제 고순도 공업용수 설계 시공 운영 통합 국산화 기술개발 (기관) 한국수자원공사
(예산/기간) 337억원(국고 211억원), `21∼`25
- (주요 연구내용) 실증플랜트 구축(2,400톤/일 규모)
4과제 고순도 공업용수 수질 및 반도체 폐수 재이용률 성능 검증 (기관) 한국산업기술시험원, 한국물기술인증원 성능 검증
(예산/기간) 25억원(국고 25억원), `21∼24 체계 마련
- (주요 연구내용) 고순도 공업용수 국가 검증체계 마련
5과제 반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수확보 기술개발 (기관) 한국건설기술연구원, ㈜태영건설 외 3개社 반도체 폐수
(예산/기간) 46억원(국고 29억원), `21∼`24 재이용률
- (주요 연구내용) 반도체 폐수 재이용 기술, 파일럿(12톤/일) 향상
○ (물 순환) 공업용 원수(상수도) → 고순도 공업용수 생산(초순수) → 반도체 공정 세정(폐수) → 반도체 폐수 재이용 처리 공정(재이용수) → 반도체 공정 내 재이용
붙임2 고순도 공업용수 생산기술 상용화 방안
□ 고순도 공업용수 기술자립 필요성
○ 고순도 공업용수(초순수)는 반도체 생산(가공, 세척 등)에서 필수요소이나 국내시장은 전 분야(설계, 시공, 운영 등)에 걸쳐 국외기업에 의존
□ 고순도 공업용수 생산기술 상용화 방안
○ (문제점) 초순수 생산은 수십 개의 단위공정이 긴밀하게 결합된 시스템으로 몇 개의 단위공정 국산화만으로는 최종 생산수의 품질을 보장할 수 없음
○ (해결책) 전체 초순수 시스템에 대한 종합적 엔지니어링 기술 확보와 장기간 검증평가를 통한 수요처의 신뢰성 확보 및 기술 진입장벽 극복 필요