2017년도 상반기 패턴웨이퍼 지원 프로그램 참여 모집 공고 KSIA 2017/01/04 http://www.ksia.or.kr/renewal/bbs/bbsView_popup.jsp?mgrId=6&bbsId=4564&cPage=1&cBlck=1&newWindow=1 종류 명칭 규격 상세 Spec 비고 Pattern Bar Type Photo 300mm - Trench Width : 60nm + 5nm씩 ~ 200nm까지 - Hole Width : 90nm + 5nm씩 ~ 200nm까지 - Bar (Active) Width : 500, 1,..